法國CILAS壓電式變形鏡
CILAS的可變形反射鏡，利用壓電材料所有共享相同的屬性（PZT）來工作的。他可以精確地控制很小的變形量（亞納米級）和高響應(yīng)速度（幾百微秒）。
CILAS可以提供兩種變形鏡可供選擇：
●堆棧陣列鏡（SAM）：利用正壓電效應(yīng)，每個(gè)驅(qū)動(dòng)單元都由一些壓電磁盤組成，變形鏡的行程是就是由所有壓電磁盤的行程之和。
●雙晶變形鏡（BIM）：所謂單晶（MONO），是利用橫向光電響應(yīng)，在兩塊機(jī)械連接處產(chǎn)生差局部曲率。
變形鏡在高功率激光方面的應(yīng)用：
變形鏡是在法國馬庫錫實(shí)驗(yàn)室發(fā)明的，后來在幾個(gè)國防項(xiàng)目中，變形鏡主要用在高功率激光光束聚集中。
參 數(shù) 型 號 | 通光孔徑 | 通道數(shù) | 行程 | 光學(xué)性能 | 帶寬 |
MONO31-100 LULI | 100mm | 31 | ±14µm（機(jī)械性） | 7 nm rms（機(jī)械性） | / |
MONO61-75 LOA | 75mm | 61 | ±24µm（機(jī)械性） | 5nm rms（機(jī)械性） | / |
MONO63-85 AWE | 85mm | 63 | ±30µm（機(jī)械性） | 5 nm rms（機(jī)械性） | / |
MONO63-50 WARSOW UNIVERSITY | 50mm | 63 | 20µm PV（機(jī)械性） | 9nm rms（機(jī)械性） | / |
MONO63-30 HZDR | 30mm | 63 | ±15µm PV（機(jī)械性） | 8nm rms （機(jī)械性） | 850HZ |
變形鏡在天文方面的應(yīng)用：
變形鏡在天文方面主要用在天文望遠(yuǎn)鏡方面。
參 數(shù) 型 號 | 通光孔徑 | 通道數(shù) | 行程 | 光學(xué)性能 | 備注 |
BIM19-42 PUEO CFHT | 42mm | 19 | ±10µm（機(jī)械性） | / | / |
BIM60-60 MACAO SINFONI - CRIRES | 60mm | 60 | ±30µm PV（機(jī)械性） | 10nm rms（機(jī)械性） | / |
BIM60-100 MACAO VLTI | 100mm | 60 | ±40µm PV（機(jī)械性） | 8.5nm rms（機(jī)械性） | / |
BIM60-50 SOAR | 50mm | 60 | ±19µm PV（機(jī)械性） | 10nm rms（機(jī)械性） | / |
BIM188 NAOJ | 90mm | 188 | ±50µm PV（機(jī)械性） | 15nm rms（機(jī)械性） | / |
MONO85-34 ISP | 34mm | / | ±16µm（機(jī)械性） | 3nm rms （機(jī)械性） | 860HZ |
MONO63-30 IOE | 30mm | 63 | ±15µm PV （機(jī)械性） | 5nm rms（機(jī)械性） |
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