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反射式數(shù)字全息顯微鏡

反射式配置數(shù)字全息顯微鏡，無需掃描，非接觸式測量動、靜態(tài)物體三維樣貌及振動特性的測量方法。根據(jù)波長的不同將反射式DHM分為三種型號：

R1000-配備單一光源，是測量光滑表面和振動的標(biāo)準(zhǔn)測量工具

R2100-同時配置雙波長，實現(xiàn)復(fù)雜或不連續(xù)結(jié)構(gòu)的測量。

R2200-在R2100基礎(chǔ)上多了第三方光源來擴展測量能力，特別是測量透明模式。

反射式DHM的特性：

快速3D樣貌測量法	MEMS分析，頻率可達(dá)25Mh
DHM測量表面三維樣貌，單一響應(yīng)，無需掃描機制。的快速采集，相機速度達(dá)1000fps允許：可變形樣品的3D動態(tài)研究常規(guī)檢查與高生產(chǎn)率短余輝熒光屏及大型表面的分析捕捉生產(chǎn)線的三維地貌	同步DHM 可選頻閃單元，測量MEMS裝置的激勵信號。這一數(shù)據(jù)分析提供：三維地貌的時序共振頻率和響應(yīng) 振動振幅平面外分辨率可達(dá)5pm,平面內(nèi)可達(dá)1nm 表征復(fù)雜運動和樣品
測量可控制環(huán)境條件	透明模式的地貌測量
DHM的光學(xué)配置允許用戶測量較佳光學(xué)質(zhì)量指標(biāo)：通過玻璃和浸沒液體內(nèi)部環(huán)境和真空室，控制溫度，濕度，壓強，氣體成分。	可選DHM反射式測量法分析軟件允許以下測量：透明結(jié)構(gòu)的地形厚度和折射率，多層結(jié)構(gòu)的厚度值從10nm到幾十微米柔軟材料和液體的形貌

反射式DHM主要參數(shù)：

系統(tǒng)
DHM型號	R1000	R2100	R2200
光源數(shù)量	1	2	3
操作波長（±0.1nm）	666nm	794nm	666 nm, 794 nm, 680 nm
激光波長穩(wěn)定性	0.01 nm / °C at 666
樣品臺	手動或自動XYZ平臺，行程300 mm x 300 mm x 38 mm
物鏡	放大倍數(shù)1.25x到100 x，標(biāo)準(zhǔn)，高數(shù)值孔徑，長工作距離，水/油浸物鏡
物鏡轉(zhuǎn)輪	六孔轉(zhuǎn)盤
計算機	DELL工作站，多核Intel處理器，高性能圖像卡，配置最小21英寸顯示屏及鼠標(biāo)，
軟件	基于C++和.NET的Koala軟件，額外可選軟件模塊可用于分析
數(shù)據(jù)兼容性	測量數(shù)據(jù)記錄在二進制表格，可導(dǎo)出.txt格式，記錄和重建圖像可導(dǎo)出.tif格式或.txt數(shù)組

技術(shù)參數(shù)：

性能參數(shù)
測量模式	666nm單波長	合成短波長4.2um	合成長波長24um
DHM型號	R1000，R2100，R2200	R2100，R2200	R2200
精度[nm]	0.15	0.15 / 3.0 *	20
垂直分辨率[nm]	0.30	0.30 / 6.0 *	40
重復(fù)性[nm]	0.01	0.01 / 0.1 *	0.5
垂直測量范圍	up to 200 μm	up to 200 μm	up to 200 μm
銳利邊緣臺階高度	up to 333 nm	up to 2.1 μm	up to 12 μm
表面類型	光滑表面	復(fù)雜，非連續(xù)表面	復(fù)雜非連續(xù)表面
垂直校準(zhǔn)	取決于干涉濾光片，±0.1 nm
響應(yīng)時間	標(biāo)準(zhǔn)500us,10us(可選)
響應(yīng)速度	標(biāo)準(zhǔn)30幀（1024*1024像素），可選達(dá)1000幀
重建速率	高達(dá)25幀1024*1024像素全息圖（依賴于數(shù)據(jù)分析）（可選60幀）
水平分辨率	取決于物鏡，低至300nm
視野	取決于物鏡，從66um x66um到5um x5um范圍
工作距離	取決于物鏡，從0.3到18 mm
數(shù)字對焦	取決于物鏡，高達(dá)50 x景深
最小樣品反射率	低于1%
樣品照明	低至1 μW/cm2
頻閃裝置	兼容單一，合成短波長