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產(chǎn)品名稱：

中國光電URE-2000/35型光刻機

技術(shù)特征：

◆適合工廠（效率高，操作傻瓜型，全自動）和高校教學(xué)科研（可靠性好，演示方便）
◆采用三爪找平，具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能

◆自動分離對準間隙和消除曝光間隙，采用350W進口（德國）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度

◆設(shè)備外形美觀精制，性能非常可靠，自動化程度很高，操作十分方便。
技術(shù)參數(shù)：
◆曝光面積：100mm×100mm（可升級150mm×150mm）
◆分辨力：1μm（膠厚2 μm的正膠）
◆ 對準精度：±1μmm
◆掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm
◆ 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
◆ 樣片尺寸
◆直徑f15mm-- f100mm(可適應(yīng)非標準片或碎片)
◆厚度0.1mm--6mm

◆照明均勻性： ±4%（ 100mm×100mm 范圍）
◆掩模相對于樣片運動行程： X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6?
◆汞燈功率：350W（直流）
◆ 曝光波長：365nm
◆曝光能量密度：>15mW/cm
◆曝光方式：定時（倒計時方式0.1s—999.9s）
◆外形尺寸：1200mm（長）?900mm(寬) ?1600mm（高）
配置：
（1）曝光頭
◆冷光橢球鏡
◆350W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
◆XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺
◆光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（79個透鏡）、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2
◆冷卻風(fēng)扇
（2）對準工件臺
◆掩模樣片整體運動臺
◆掩模樣片相對運動臺
◆轉(zhuǎn)動臺
◆樣片調(diào)平機構(gòu),三點自動完成
◆樣片調(diào)焦機構(gòu)，電機自動調(diào)
◆承片臺4個：f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸（可按用戶要求增減）
◆掩模夾4個：3英寸、4英寸、5英寸（可按用戶要求增減）
◆掩模抽拉式上下機構(gòu)
（3）對準顯微鏡
◆光源（配備品2只）、電源
◆雙目雙視場對準顯微鏡主體
◆目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）
◆物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）
◆CCD對準系統(tǒng)，21寸液晶顯示器
（4）電控系統(tǒng)
◆汞燈觸發(fā)電源(350W直流汞燈)
◆單片機控制系統(tǒng)
◆控制柜桌
（5）氣動系統(tǒng)
◆氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等
◆電磁閥驅(qū)動
◆氣動儀表
（6）其他附件
◆真空泵一臺
◆空壓機一臺
◆管道
（7）技術(shù)資料
◆使用維修說明書
◆顯微鏡使用說明書