URE-2000/17型紫外深度光刻機技術(shù)特點：
采用雙目雙視場顯微鏡對準(zhǔn)；球碗調(diào)平,單片機控制,觸摸開關(guān),操作方便、實用性強。
1．技術(shù)參數(shù)
l 曝光面積：4英寸
l 曝光波長：365nm
l 分辨力：1.5mm（膠厚2 mm的正膠）
l 對準(zhǔn)精度：±1mm
l 掩模樣片整體運動范圍：X：15mm;Y:15mm
l 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
l 樣片尺寸：直徑f15mm-- f100mm
厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)
l 曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量
l 照明不均勻性： 5%（f100mm 范圍）
l 雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對準(zhǔn)，也可通過CCD+顯示器對準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù)400倍，光學(xué)+電子放大800倍
物鏡三對：4倍、10倍、20倍
目鏡三對：10倍、16倍、20倍
l 掩模相對于樣片運動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6度
l 汞燈功率：200W（直流）
l 曝光能量密度：6mW/cm
2．外形尺寸：650mm（長）?600mm(寬) ?900mm（高）
3．配置
（1）曝光頭
l 200W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
l XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺
l 光學(xué)系統(tǒng)
l 冷卻風(fēng)扇
（2）對準(zhǔn)工件臺
l 掩模樣片整體運動臺
l 掩模樣片相對運動臺
l 轉(zhuǎn)動臺
l 樣片調(diào)平機構(gòu),手動
l 樣片調(diào)焦機構(gòu)，手動
l 承片臺3個（f50mm 、?75mm 、 ?100mm ）
l 掩模夾4個（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）
l 掩模抽拉式上下機構(gòu)
（3）對準(zhǔn)顯微鏡
l 光源（配備品2只）、電源
l 雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體
l 目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）
l 物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）
l CCD（中國臺灣）
l 21寸液晶顯示器
（4）電控系統(tǒng)
l 汞燈觸發(fā)電源(200W直流汞燈)
l 單片機控制系統(tǒng)
l 控制機箱
（5）氣動系統(tǒng)
l 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等
l 電磁閥驅(qū)動
l 氣動儀表
（6）其他附件
l 真空泵一臺
l 管道
（7）技術(shù)資料
l 使用維修說明書
l 顯微鏡使用說明書
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