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亞埃精度

多角度激光橢偏儀穩(wěn)定的氦氖激光器保證了0.1埃精度的超薄單層薄膜厚度測量。

擴(kuò)展激光橢偏儀的極限

多角度激光橢偏儀性能優(yōu)異的多角度手動(dòng)角度計(jì)和角度精度*的激光橢偏儀允許測量單層薄膜和層疊膜的折射率、消光系數(shù)和膜厚。

高速測量

我們的激光橢偏儀SE 400adv的高速測量速度使得用戶可以監(jiān)控單層薄膜的生長和終點(diǎn)檢測，或者做樣品均勻性的自動(dòng)掃描。

激光橢偏儀SE 400adv可用于從可選擇的、應(yīng)用特定的入射角度表征單層薄膜和基片。自動(dòng)準(zhǔn)直透鏡確保在大多數(shù)平坦反射表面的吸收或透明襯底上進(jìn)行準(zhǔn)確測量。多角度測量的集成支持(40°—90°,5°步進(jìn))，可用于確定層疊的厚度、折射率和消光系數(shù)。為了補(bǔ)償激光橢偏測量中厚度測量的模糊性，在厚度測量中也采用了多角度測量。

SENTECH激光橢偏儀SE 400adv，用于超薄單層薄膜的厚度測量。小型臺(tái)式儀器由橢偏儀光學(xué)部件、角度計(jì)、樣品臺(tái)、自動(dòng)準(zhǔn)直透鏡、氦氖激光光源和檢測單元組成。我們的激光橢偏儀SE 400adv的選項(xiàng)支持在微電子、光伏、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、顯示技術(shù)、生命科學(xué)、金屬加工等領(lǐng)域的應(yīng)用。