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一，掃描電子顯微鏡的工作原理？其簡單介紹拓展知識

掃描電子顯微鏡是一種新型的電子光學(xué)儀器，主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態(tài)，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應(yīng)，其中主要是樣品的二次電子發(fā)射。二次電子能夠產(chǎn)生樣品表面放大的形貌像，這個像是在樣品被掃描時按時序建立起來的，即使用逐點(diǎn)成像的方法獲得放大像。

二，掃描電子顯微鏡主要指標(biāo)?其主要應(yīng)用在哪些方面、

1)圖像放大倍數(shù)M=L/l,即熒光屏上顯示的圖像的橫向長度L與電子束在樣品上橫向掃描的實(shí)際長度l之比。

2)分辨率：影響分辨率本領(lǐng)的主要因素：入射電子束斑的大小，成像信號(二次電子，背散射電子來自樣品的不同深度，其影響區(qū)大小不等等)。

3)掃描電子顯微鏡的景深：由于電子束有一定發(fā)散度，除了焦平面處，電子束將展寬，景深與放大倍數(shù)及孔徑光欄有關(guān)。

三，掃描電子顯微鏡鏡構(gòu)成

掃描電子顯微鏡主要有真空系統(tǒng)，電子束系統(tǒng)以及成像系統(tǒng)。

1)真空系統(tǒng)：主要包括真空泵和真空柱兩部分，真空柱是一個密封的柱形容器。

2)電子束系統(tǒng)：由電子槍和電磁透鏡兩部分組成，主要用于產(chǎn)生一束能量分布極窄的、電子能量確定的電子束用以掃描成象。

3)成像系統(tǒng)：電子經(jīng)過一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用，會產(chǎn)生次級電子、背散射電子、歐革電子以及X射線等一系列信號。