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電容式差壓傳感器

2022年12月23日 13:35:39      來源:深圳市新世聯科技有限公司 >> 進入該公司展臺      閱讀量:29

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文摘:

圖4-14是電容式差壓傳感器結構示意圖。這種傳感器結構簡單、靈敏度
高、響應速度快(約100ms)、能測微小壓差(0?0.75 Pa)。它是由兩個
玻璃圓盤和一個金厲(不銹鋼)膜片組成。兩玻璃圓盤上的凹面深約25
mm,其上鍍金屬以作為電容式 傳感器的兩個固定極板,而夾在兩凹圓
盤中的膜片則為傳感器的可動電極,則形成傳感器的兩個差動電容C1、
C2。當兩邊壓力p1、p2相等時。膜片處在中間位置與左、右固定電容間距
相等,因此兩個電容相等……





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