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玻璃基板是構(gòu)成液晶顯示器件的一個基本部件，這是一種表面極其平整的浮法生產(chǎn)薄玻璃片，現(xiàn)已被廣泛應用于筆記本電腦、手機、攝像機、平板電腦等領(lǐng)域，玻璃基板的生產(chǎn)自動化系統(tǒng)的工序中，需要用超純水沖洗基板并進行化學處理，而化學處理中化學液需要用一定濃度的化學原液與超純水混合配置，化學液直接與工件進行接觸，若超純水設(shè)備產(chǎn)水水質(zhì)不純，將會影響產(chǎn)品良率。

玻璃基板超純水傳統(tǒng)制備工藝是采用陰陽樹脂交換設(shè)備，該工藝的缺點在于樹脂在使用一段時間以后要經(jīng)常再生，隨著膜分離技術(shù)的不斷成熟，滲源常采用反滲透工藝，或是采用反滲透后面再經(jīng)過電去離子EDI工藝、拋光混床來制取超純水，保證出水水質(zhì)符合行業(yè)標準，滿足芯片行業(yè)用水需求。

玻璃基板超純水設(shè)備主要具有以下特點：

1.全自動智能識別，并且具有故障預警功能，安全可靠。

2.操作簡單，顯示數(shù)據(jù)簡明清晰，參數(shù)全面，易于綜合考量分析。

3.純化模塊分工明確，部分更換不會影響總體工藝流程。

4.專業(yè)配備預處理模塊，對進水有機物和余氯的去除更，反滲透膜的使用壽命更長。

5.多功能脫鹽凈化處理單元，逐級脫鹽處理，最終滿足用水水質(zhì)要求。

6.配備高精度的電阻率檢測系統(tǒng)，全面監(jiān)控超純水設(shè)備的運行和水質(zhì)變化。

7.運行成本和維修成本低，并且操作簡單，勞動強度低。

滲源超純水設(shè)備，超純水精度可達美標E1.3，采用膜表面嫁接技術(shù)達到更好的脫鹽率，能連續(xù)、穩(wěn)定地生產(chǎn)高純度的超純水。已成功應用到晶圓、電子芯片、集成電路、精密儀器、電鍍涂裝、試劑稀釋、氟化工等多個領(lǐng)域。