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臭氧在半導(dǎo)體行業(yè)中有多種應(yīng)用，其中*常見的是用于清洗和表面處理。
清洗：臭氧在半導(dǎo)體制造過程中被廣泛用于清洗表面。它可以去除表面的有機(jī)污染物、金屬氧化物和其它雜質(zhì)，使表面變得更加純凈。臭氧清洗的優(yōu)點(diǎn)是，它可以對不同形狀和大小的物體進(jìn)行清洗，不需要使用化學(xué)物質(zhì)，不會產(chǎn)生廢物或有害副產(chǎn)品。
表面處理：臭氧還可以用于表面處理，以改善半導(dǎo)體器件的性能。例如，在硅晶圓表面形成一層臭氧化硅，可以提高其絕緣性能和穩(wěn)定性。臭氧也可以用于改善氮化硅和氧化鋁等材料的表面性質(zhì)。
其它應(yīng)用：臭氧還可以用于半導(dǎo)體制造過程中的其它應(yīng)用，例如用于刻蝕和表面微加工。
總之，臭氧在半導(dǎo)體行業(yè)中具有重要的應(yīng)用，可以改善器件性能和生產(chǎn)效率。
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