(1)光源。光源的功能是發(fā)射被測元素的特征共振輻射。對光源的基本要求是：發(fā)射的共振輻射的半寬度要明顯小于吸收線的半寬度;輻射強度大;背景低，低于特征共振輻射強度的1%;穩(wěn)定性好，30min之內漂移不超過1%;噪聲小于0.1%;使用壽命長于5A·h。多用空心陰極燈等銳線光源。
(2)原子化器。原子化器的功能是提供能量，使試樣干燥、蒸發(fā)和原子化。在原子吸收光譜分析中，試樣中被測元素的原子化是整個分析過程的關鍵環(huán)節(jié)。實現(xiàn)原子化的方法，*常用有兩種：一種是火焰原子化法(火焰原子化器)，是原子光譜分析中*早使用的原子化方法，至今仍在廣泛地被應用;另一種是非火焰原子化法，其中應用*廣的是石墨爐電熱原子化法。
(3)分光器。分光器由入射和出射狹縫、反射鏡和色散元件組成，其作用是將所需要的共振吸收線分離出來。分光器的關鍵部件是色散元件，現(xiàn)在商品儀器都是使用光柵。原子吸收光譜儀對分光器的分辨率要求不高，曾以能分辨開鎳三線Ni230.003，Ni231.603，Ni231.096nm為標準，后采用Mn279.5和Mn279.8nm代替Ni三線來檢定分辨率。光柵放置在原子化器之后，以阻止來自原子化器內的所有不需要的輻射進入檢測器。
(4)檢測系統(tǒng)。原子吸收分光光度計中廣泛使用的檢測器是光電倍增管，也有一些儀器采用CCD作為檢測器。
