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有機(jī)材料熱蒸鍍設(shè)備

有機(jī)金屬熱沉積系統(tǒng)是一種熱蒸發(fā)的方式，用於將有機(jī)或金屬材料沉積到基板表面上。該過程需要通過精確控制溫度和沉積速率來實現(xiàn)薄膜的高精度和均勻性。

為了達(dá)到此要求，有機(jī)材料熱沉積系統(tǒng)使用高精準(zhǔn)熱蒸發(fā)源作為加熱源，並使用金屬、石英、陶瓷或PBN坩堝來容納有機(jī)材料以及PID控制器來控制其沉積速率。該系統(tǒng)通常用於有機(jī)電子研究領(lǐng)域，例如OPV、OLED、OPD...

有機(jī)材料熱蒸鍍設(shè)備

封裝系統(tǒng)

SYSKEY針對研究等級的實驗室，推出玻璃對玻璃封裝的對位壓合機(jī)構(gòu)。我們整合塗膠系統(tǒng)(UV或liquid gate)和紫外光燈可安裝於手套箱或是獨立的一個壓合腔體內(nèi)，且可手動進(jìn)行放片，也可以透過自動傳片系統(tǒng)使用。可撓式OLED必須輕薄且具有可撓曲性，因此過往的玻璃材料並不適合用於此類的封裝，必須採用薄膜封裝技術(shù)(Thin-Film Encapsulation，TFE)或混和封裝技術(shù)。SYSKEY針對薄膜封裝推出電漿輔助式化學(xué)氣相沉積、原子層沉積和聚對二甲苯沉積等三種設(shè)備，且使用低溫的沉積技術(shù)，分別在OLED 上堆疊多層薄膜(SiN_X、SiO_XN_X、Al₂O₃、ZnO、Parylene)並得到更好的保護(hù)層，以減少水氧對於有機(jī)元件的影響，從而提高OLED面板的壽命和性能。

應(yīng)用領(lǐng)域	腔體
有機(jī)發(fā)光二極體。有機(jī)光伏打電池。材料科學(xué)研究。	由304不銹鋼所製成，通過外部焊接304不銹鋼管線對腔體進(jìn)行水冷。寬大的前開式門，並有兩個視窗和視窗遮版用於觀察基材和蒸發(fā)源。一個熱蒸發(fā)腔體內(nèi)，最多可容納 12組熱蒸發(fā)源。腔體的極限真空度約為10^-8 Torr。
配置和優(yōu)點	選件
客製化的基板尺寸，直徑為12寸晶圓或470 x 370 mm²(玻璃)。優(yōu)異的薄膜均勻度小於±3%。用於有機(jī)材料的蒸發(fā)源（可用金屬、陶瓷、石墨或PBN坩堝）。鍍率自動控制：最小值為0.01?/s。蒸發(fā)源溫度控制可達(dá)到精度±0.1^oC。具有順序操作或共沉積的多個蒸發(fā)源。用CCD對位將玻璃基板和遮罩的位置對準(zhǔn)在±5μm以內(nèi)。每個蒸發(fā)源和基材均有安裝遮板。每個蒸發(fā)源和基板均裝有百葉窗。	可以與傳送腔、機(jī)械手臂和手套箱整合在一起。殘留氣體分析儀。